[China Glass Net] В настоящее время технология нанесения гибких прозрачных проводящих пленок широко продвигается в индустрии сенсорных экранов. Гибкая прозрачная проводящая пленка покрывается намотанным покрытием оборудования. Гибкие прозрачные проводящие пленки подложки являются ПЭТ (Polyethylene terephthalate, полиэтилентерефталат) и другие гибкие материалы. Чтобы преодолеть проблему низкой производительности вакуума после производства рулона пленки в гибком намоточном покрытии, между гибким намотанным покрытием и технологической вакуумной камерой был добавлен изолирующий клапан, таким образом, после производства рулона пленки необходимо только разорвать вакуум в камере для размотки и камере для обмотки, что значительно сокращает время откачки технологической вакуумной камеры и увеличивает производственные мощности.

Процесс производства гибкого ITO проводящего покрытия показан на рисунке 1.

Рисунок 1 Схема производства намотанного покрытия

Предпосылкой распыления является вакуум, а основой распылительного покрытия является тлеющий разряд: газовый разряд, показывающий свечение в газе низкого давления (электроны в воздухе составляют около 1 000 пар/см, из-за явления высоковольтного разряда в состоянии низкого давления явление свечения), то есть самоподдерживающийся разряд в тонком газе (автопроводящая проводка). Феномен. Относится к газовому разряду, который не зависит от внешних условий ионизации и может поддерживаться только внешним действием прикладываемого напряжения. Этот процесс заключается в том, чтобы заполнить технологический газ до технологического вакуума, когда степень вакуума в фоновом оборудовании достигнет 2,3 × 10-6 гПа, открыть катод и трансмиссивный валик, чтобы начать нанесение покрытия, после того, как подложка из ПЭТ предварительно обработана плазменным оборудованием, катод технологической камеры последовательно покрыт SiOx, Nb2O5, SiO2, ITO мембранные системы.

Технология вакуумной изоляции распылительного покрытия:(1) Во-первых, необходимо закрыть изолирующий клапан размоточной камеры для подачи воздуха в размоточную камеру. Когда размоточная камера достигает 1,0 × 103 гПа, можно открыть дверь размоточной камеры и установить катушку. После установки рулонного материала вакуумный насос будет вакуумировать в размоточной камере. Когда степень вакуума в размоточной камере достигает определенного значения (степень вакуума в размоточной камере эквивалентна размоточной камере с распылительным покрытием), открывается изолирующий клапан размоточной камеры; Когда фоновый вакуум ≤ 2,3 × 10-6 гПа, он может быть включен в распылительный газ и технологический газ для производства. (2) Выгрузка: после того, как покрытие распылением в рулоне заполнено, закройте изолирующий клапан камеры для обкатывания для подачи воздуха в камеру для обкатки. Дверь камеры для откатов может быть открыта, когда комната для размотки достигает 1,0 × 103 гПа, и разгрузка. После того, как разгрузка завершена, вакуумный насос вакуумирует камеру для откачки. Когда степень вакуума в откате достигает определенного значения (степень вакуума в откате эквивалентна камере для напыления), открывается изолирующий клапан камеры для откачки. (3) Вакуумный изолирующий клапан: состоит из силиконовой трубки, фиксирующей трубки, электромагнитного клапана всасывающего насоса и т. Д. Устройство установлено между намотанным и намотанным покрывающим оборудованием и технологической вакуумной камерой, намоточной камерой и технологической вакуумной камерой. Во время работы силиконовая труба расширяется путем заполнения сжатого газа, когда требуется вакуумное уплотнение, чтобы достичь эффекта уплотнения. Когда уплотнение не требуется, сжатый газ в силиконовой трубе оттягивается через насос для вытяжки, чтобы достичь открытого состояния. Силиконовая трубка обрабатывается методом впрыска, и поверхность может быть гарантирована, во-вторых, силикагель может быть заполнен очень регулярно. Как показано на рисунке 2.

2. Схема структуры оборудования для нанесения покрытия

В этом процессе используется вакуумная намотанная магнитно-управляемая технология распыления, которая имеет следующие характеристики:

① Пленка, полученная в результате распыления, лучше сочетается с подложкой;

② Пленка, полученная распылением, имеет высокую чистоту, хорошую герметичность и хорошую однородность формирования пленки;

③ Он может точно контролировать толщину покрытия, и в то же время он может контролировать размер частиц, составляющих пленку, путем изменения параметров и условий.

Сравнительный анализ эффекта применения изоляционного клапана:(1) Степень вакуума изменяется при впускном и размоточном камерах. До и после использования изоляционного клапана, когда камера намотки и размотки впускается, изменение уровня вакуума в камере с распылительной пленкой показано на рисунке 3.

Рисунок 3 Изменение степени вакуума в камере с распылительным покрытием при впуске воздуха в камеру сбора и разматывания

Из рисунка 3 видно, что после использования изолирующего клапана, когда камера подбирает и разматывает воздух, колебания вакуума уменьшаются с 2,6 × 10-6 гПа до 6,3 × 10-6 гПа, а затем уменьшаются до 4,6 × 10-6 гПа. Вакуум в средней камере покрытия также будет колебаться, но кривая флуктуации стабильна, а точка падения вакуума относительно низкая.

(2) Вакуум изменяется во время откачки после замены камеры для сбора и размотки. После использования изолирующего клапана, когда камера для сбора и размотки заменяется после откачки, изменение вакуума в камере для распыления покрытия показано на рисунке 4.

Рисунок 4 Изменение вакуума в камере распыления покрытия во время откачки и откачки

Из рисунка 4 видно, что после использования изолирующего клапана, когда камера сбора и размотки откачивается, начальная точка вакуума в средней камере с покрытием низкая, а продолжительность откачки составляет 22 минуты. После использования этой технологии изоляции время вытяжки может быть сокращено примерно на 15 мин. Каждая рулонная пленка должна быть заполнена и выкачана один раз в камере рулона. Исходя из 900 м на рулон пленки и скорости обмотки тела 4 м/мин, производительность может быть увеличена примерно на 13,33%.

ITO Film имеет большие возможности для развития на внутреннем рынке, и его доля на рынке постоянно увеличивается. Для отечественных производителей ITO Film это будет хорошая возможность для развития. Тем не менее, конкурентное давление на рынке ITO Film также очень велико: в настоящее время отечественные производственные проекты ITO Film предостаточно, а конкуренция со стороны иностранных производителей более очевидна. Более очевидным недостатком отечественных производителей ITO Film является качество продукции и мощность оборудования. Поэтому, чтобы повысить свою конкурентоспособность в отрасли ITO Film, мы должны увеличить производственные мощности оборудования, чтобы захватить долю рынка, улучшить качество продукции и разработать продукты ITO Film с высокой рентабельностью, чтобы выиграть на будущем конкурентном рынке. Использование этого устройства для намоточного покрытия может увеличить производительность и снизить производственные затраты, а промежуточная технологическая вакуумная камера не нуждается в вакуумной обработке после завершения рулонной пленки, что также обеспечивает вакуумную среду для улучшения качества продукции. цель.